Проектирование чистых помещений
-
Книга является сборником материалов, написанных известными экспертами по контролю микрозагрязнений и технологической чистоте. Кратко изложены основные понятия техники чистых помещений, их история, дан подробный обзор стандартов по чистым помещениям.